已在客户现场启动应用测试。该设备系杭州城西科创大走廊浙大成果转化基地首批签约项目，其精度比肩国际主流设备，标志着量子芯片研发从此有了“中国刻刀”。

　　100kV电子束光刻机，由浙大量子研究院依托省重点实验室自主研发，目前中国科技大学、浙大量子研究院相关团队在对其进行测试。

　　研发团队负责人形象地比喻道，“羲之”就如同一只“纳米神笔”，能够在头发丝上雕刻出整座城市地图 。取名“羲之”，正是寓意其精密“书写”能力与书法家王羲之的毛笔神韵相契合。“只不过我们的‘毛笔’是电子束，在芯片上刻写电路，”研发团队相关负责人介绍，“芯片研发初期会设计很多版型、图案，常常需要一条线一条线进行修改，电子束光刻机精度高、‘书写’便捷，极大提升了芯片研发初期反复调试的效率。”作为专攻量子芯片、新型半导体研发核心环节的设备，“

　　羲之”通过高能电子束在硅基上“手写”电路，精度达到0.6纳米，线纳米，且无需传统光刻所需的掩膜版，能灵活修改设计图案。

　　一直以来，此类先进电子束光刻机受国际出口管制，国内顶尖科研机构和企业长期面临无法采购的困境，严重制约了我国在半导体前沿领域的研究与产业发展 。如今，“羲之”的成功落地，彻底打破了这一技术封锁与采购困局 。目前，“羲之”凭借其先进性能与合理定价，吸引了包括华为海思在内的多家企业及众多科研机构前来接洽，市场应用前景广阔 。

　　科技创新与产业创新“两新融合”的强力驱动。今年7月，浙江省级教育科技人才一体改革专项试点项目落地于余杭的浙江大学校友企业总部经济园，浙江大学、校友总部经济园和余杭共同联手搭建成果转化高速路：园区企业开出“技术需求清单”；浙大教授带研究生组队“揭榜”；地方政府从实验室样品到量产产品，全流程陪跑。

　　尽管电子束光刻技术在现阶段与用于大规模量产的 EUV 光刻技术相比，在生产效率上存在差距，但其在量子芯片等前沿领域的独特优势无可替代 。“羲之”电子束光刻机的成kaiyun官网中国 开云网址功应用测试，是我国高端半导体核心装备国产化的重大突破 。这把自主可控的 “中国刻刀”，将为加速国产高端芯片的研发进程、助力我国抢占未来科技制高点，提供坚实的装备基础与强大技术支撑 。