金融界2025年8月22日消息，国家知识产权局信息显示，本源量子计算科技（合肥）股份有限公司申请一项名为“刻蚀铝膜的方法以及超导量子芯片”的专利，公开号CN120529820A，申请日期为2024年02月。

　　专利摘要显示，本发明公开了一种刻蚀铝膜的方法以及超导量子芯片。刻蚀铝膜的方法，包括：提供表面形成有铝膜的衬底；在铝膜上确定目标图形，对目标图形以外的铝膜进行IBE刻蚀，形成与目标图形对应的目标结构，目标结构的侧壁与衬底形成预设夹角；采用铝腐蚀液对目标结构的侧壁进行湿法刻蚀，以增大预设夹角。超导量子芯片包括谐振腔，谐振腔采用刻蚀铝膜的方法得到。由于IBE刻蚀工艺和湿法刻蚀工艺成本低，且无需使用危险气体，从而能够在降低成本、提高安全性的同时保持较高的铝膜品质。

　　天眼查资料显示，本源量子计算科技（合肥）股份有限公司，成立于2017年，位于合肥市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本3000.0008万人民币。通过天眼查大数据分析，本源量子计算科技（合肥）股份有限公司共对外投资了11家企业，参与招投标项目103次，财产线条，此外企业还拥有行政许可6个。kaiyun平台官网登录 开云网站